光刻巨人:ASML崛起之路,瑞尼·雷吉梅克,电子书,mobi,pdf,txt,epub,kindle,百度云全文阅读获得

原创 qiangshuai521  2020-10-29 09:43  阅读 1,133 views 次
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内容简介  · · · · · ·

作者简介  · · · · · ·

[荷兰]瑞尼·雷吉梅克

本书作者瑞尼·雷吉梅克是居住在荷兰的跨界创业者。他在20世纪80年代曾主修化学长达8年,毕业后在缅甸为路透社做过短暂的自由摄影师。

在20世纪90年代,瑞尼成为一位科技专栏作家并经常访问美国硅谷,他将硅谷源源不断的科技故事写成文字带给荷兰家乡的读者。这些文章发表在《新鹿特丹商业报》和荷兰其他知名媒体上。

1999年,他创立了Techwatch(科技观察)媒体公司,并出版了专注于欧洲高科技的商业杂志《比特和芯片》。

瑞尼同时是荷兰高科技学院(HTI)的董事总经理兼所有者。这所学院的前身是飞利浦技术培训中心(CTT),提供近百个关于集成电路、光学、机电、软件和系统等专业课程;这里的很多讲师都来自飞利浦享有盛誉的Natlab实验室和工业技术中心。

译者简介

金捷幡

知名科技自媒体人、自由投资人。2019年在同名微信公众号和知乎发表的《光刻机之战》系列获得全网百万人次阅读。他的文章聚焦在半导体、通讯和软件等前沿科技行业的发展,深受读者喜爱。

目录  · · · · · ·

01 光刻机的前历史
一只奇怪的昆虫 / 002
飞利浦半导体和材料部 / 007
David Mann 公司 / 010
爱德·鲍尔 / 012
小提琴制作师 / 020
02 合法的印钞机
天生的工程师 / 027
旅行伙伴 / 033
技术文档105/71 / 035
晶圆重复曝光光刻机 / 042
美国风格 / 051
03 垂死挣扎
维姆·特罗斯特 / 056
特罗斯特的信 / 063
GCA 打出制胜牌 / 074
敲响政府的门 / 077
电动晶圆台 / 079
拯救计划 / 085
金砖做的茅房 / 096
04 达成协议
阿瑟·德尔·普拉多 / 103
五十对五十 / 109
可怕的协议 / 114
05 杠杆剥离
贾特·斯密特 / 122
欺骗 / 131
重聚 / 136
交付期限 / 140
一亿美元 / 148
从巴黎到奥伯科亨 / 155
来自地狱的公司 / 162
日本人 / 166
最初的蓝图 / 171
卡通演示 / 176
第 一条招聘广告 / 179
06 截止期限
商业计划 / 183
地标 / 193
回到Elcoma / 198
维多利亚韦斯特旅馆 / 201
蚁冢 / 204
维多利亚酒店 / 207
美国市场 / 213
如果说它周五来,那它就不会来 / 215
快!快!快赶上了 / 222
我们可以赢的 / 224
我们听见了你的话,杰瑞 / 228
AMD 公司 / 231
斯密特的发声板 / 238
紧急会议 / 245
不再狂野的怀尔德 / 251
07 花钱大王
幸福感 / 258
美国最强硬的老板 / 263
德尔·普拉多又被诱惑了 / 270
GCA 的黄昏 / 274
日本设备的可靠性 / 281
碎梦大道 / 286
接受不接受随你 / 292
80 美元和再见 / 297
08 走上正轨
胖胖的人 / 306
一贫如洗 / 310
有希望的客户 / 315
尼康的阿喀琉斯之踵 / 320
现金流变正 / 324
开启加速模式 / 331
IBM 公司 / 339
09 你追我赶
圆桌会议新老板 / 342
德国人的垄断 / 348
给IBM 的录像片 / 356
有“金手指”的工匠 / 360
日本玻璃 / 365
蔡司O-Lab / 371
靠信誉经营 / 375
想都不用想的事 / 379
10 增长
完美的团队 / 383
主人翁的价值 / 391
扫描光刻机 / 393
韩国巨头 / 402
四十大盗 / 407
拯救公司的医生 / 411
开坦克的参会者 / 416
格拉斯曼的严峻挑战 / 419
独立自主 / 428
附录
附录1 从欧洲视角看20 世纪50 年代的计算机芯片与光刻技术 / 435
附录2 David Mann 公司 / 439
附录3 20 世纪60 年代初,飞利浦Natlab 的技术微型化 / 441
附录4 光图机 / 442
附录5 电子束掩模制作机 / 445
附录6 摩尔定律与芯片设备游戏规则 / 447
附录7 合资协议:估值 / 449
附录8 合资协议:最开始的计算 / 451
附录9 对准:全局对准、裸片对准和双对准 / 452
附录10 电动晶圆台之谜 / 454
附录11 合资协议:ASM 退出时的最后声明 / 458
附录12 长冲程、短冲程电机 / 459
人物表(按字母排序) / 461
术语表 / 470
作者采访人物(2011 年—2017 年) / 473
致谢 / 476
作者后记 / 477

尽管存在各种公司政治、夸大的数字和极不现实的目标,ASML的第一个商业计划是富有远见的。斯密特描述了定价和产品差异化的战略选项,并得出结论:他的公司需要专注于降低生产芯片的成本。换句话说,就是只要能低成本地产出芯片,设备就可以卖得很贵。即使在他的第一个商业计划中,斯密特也认为降低拥有成本是维持公司长期发展的最佳方式,而不应像其他设备供应商和竞争对手那样只是寻求倾销旧库存。
简单地说,晶圆光刻机无异于“印钞机”。只要它够快,机器的成本就无关紧要了。能够交付比竞争对手“印钞”速度更快的机器,就可以收取更多的费用,而价格在销售过程中起着次要作用。斯密特认为:“这就是我们确保高投资能得到高回报的方式。”
正如斯密特所写的那样,从投影扫描光刻机到步进光刻机的行业转型,突显了拥有成本战略的价值。步进光刻机比投影扫描光刻机贵得多,而且由于曝光过程较慢其启动效率要低得多。但是,步进光刻机的极高精度可制造质量更好的芯片,并使投射更小的电路图成为可能。因此,同样的芯片只占用更小的晶圆,从而大大降低了生产成本。
拥有成本将成为ASML销售和营销战略的核心。在20世纪90年代,ASML未来的首席执行官威廉·马里斯(Willem Maris)将其称为“所有权的价值”。从技术上讲,电动晶圆台将是ASML实现步进光刻机高吞吐量的基石。但是在斯密特提出他的商业计划的时候,Natlab的该项技术还没有发展成熟,尚不能进入应用阶段。
* * *
ASML的商业计划中收集的知识提供了一个相当不错的机会来考察光刻机领域。它表明GCA已经面临压力,并正确地预测了这家美国光刻机供应商将失去市场份额,即使他们不是很清楚原因。根据ASML的商业计划,市场领导者拥有高销售额和完善的服务,但实际上到1984年夏天,GCA的服务已经非常糟糕了。该计划还正确地指出,尽管有改进的方法,但GCA的步进光刻机不是很先进。
当时,佳能和Perkin-Elmer都是迅速增长的厂商。两家公司主要供应光刻机,他们的市场份额分别为1%和5%。然而,分析师预测,未来4年,他们的市场份额将分别增长到15%和23%。对Perkin-Elmer的预测主要基于公司的声誉,多年来,它一直主导着光刻机市场。
分析师预测,Perkin-Elmer在美国和欧洲的强大的专业销售组织将刺激公司通过收购Censor来获得步进光刻机业务的大幅增长。ASML的商业计划简要地描述其美国竞争对手“可能成为市场领导者”。对佳能的主要预测与未来几年的实际发展大致相同,但Perkin-Elmer实际上在几年后退出了市场,因为Censor的步进光刻机技术性能不佳。
总之,这份商业计划是一次关于积极思考的了不起的实践。斯密特写道:“没有一个供应商拥有绝对的优势地位,只有GCA和尼康有限地例外。”“有限”一词表明,斯密特还没有意识到尼康有多强大。他的预测是基于该公司第一代声誉不佳的产品:尼康的早期机型主要是基于GCA的机器研发的,这些机器需要操作员不断调整设置来维持运行。欧洲显然与美国厂商一样对尼康的新机器的先进一无所知。这也是斯密特认为他有2年时间提高销量的原因之一。
由于他访问了奈梅亨的Elcoma和汉堡的瓦尔沃,斯密特非常了解芯片制造商对战略光刻技术的看法,以及在这个市场站稳脚跟是多么困难。他的SEMICON West展会之行只是让他更确信这一观点。GCA是最早进入市场的,自1978年以来,它占据了相当大的市场份额。而尼康近年来成为了后起之秀。但所有这些都没有阻止斯密特志存高远。
* * *
商业计划也反映了20世纪80年代初人们对芯片技术发展的殷切期望。显然,Perkin-Elmer公司销售的1︰1投影扫描光刻机的黄金时期已经过去。由于晶圆越来越大,这些机器的性能也濒临极限。商业计划认为,投影扫描光刻机的市场规模将在1983年和1984年达到顶峰,这一说法在随后几年成为现实。
与当时的预测完全一致,商业计划预测光学技术将在10年内达到极限。几乎每个人都同意,可用光源的波长是芯片成像的限制因素。正如投影扫描光刻机一样,重复曝光光刻机的寿命也有限。
事实上,ASML的三大目标之一是在20世纪80年代末成为公认的光刻设备量产供应商。该计划清楚地表明,在制造芯片的光学方法方面,该行业目前仍有很多不确定性。这就是发展电子束光学和X射线光刻技术成为其第二要务的原因:可以用来争取前三名的市场地位,但需要先扭亏为盈并偿还所有债务。
当时业界对电子束直写技术抱有很大期望,但使用X射线进行1︰1成像也是备受关注的话题。例如,在20世纪80年代,尼康仍在全力研发能产生芯片制造所需的平行X射线的同步加速器。里克·鲁德尔在1985年关于光刻机市场的报告中写道:“如果您的公司没有积极的X射线开发计划,请马上制订一个。”ASML的商业计划遵循这一逻辑。斯密特写道:“有迹象表明,人们对晶圆加工设备的电子束直写技术越来越感兴趣,这使得这些技术对20世纪80年代后期的持续发展至关重要。”人们对X射线成像存在疑问,但斯密特注意到尼康正在进行相关研究,并表明Perkin-Elmer也在研究这项技术。
简而言之,ASML的商业计划表明,在1984年,人们对光学光刻技术是否具有这种持久力完全不清楚。该计划预测,光学光刻技术将在1990年达到顶峰,电子束直写和X射线成像等新技术将在1994年超过它;到2000年,光学光刻技术将走到尽头。
商业计划也很好地概述了当时的先进技术。1984年,最先进的芯片工艺生产细节为1~1.5微米,使用的步进光刻机的叠加精度为0.35微米。1988年,芯片工艺生产细节为0.8微米,叠加精度为0.2微米。在这4年中,成像光场的边长从14毫米增加到18毫米。新兴的MOS技术尤其需要更大的曝光场。主要的芯片制造商很快将在8英寸的晶圆上制造芯片。
* * *
ASML的第一个商业计划尽可能详述了它的战略。合资公司的目标是在4年内生产300多台机器,该公司计划在埃因霍温以南几英里远的维尔德霍芬的新工厂组装它们。自己制造一切是不可能的,因此尽可能外包是公司的关键战略之一。不仅仅是单个部件,公司还计划外包完整的子组件的生产。商业计划委婉地指出,ASML正争取与飞利浦在附近的阿赫特自治市的机器工厂做出“特殊安排”。然而,事实上,对于斯密特和他的生产主管范凯塞尔来说,这已不再可行,飞利浦的部分子公司不能按时交货早已是人尽皆知的事实。
斯密特并不期望这家荷兰制造商能够满足光刻误差极其微小的要求,并建议他们在德国西南部的巴登-符腾堡州寻找供应商,该州有许多高科技公司,包括光学专业设备制造商蔡司。但令他大吃一惊的是,范凯塞尔很快宣布,他在附近已经找到了合适的供应商。大型机器制造商对像小型公司ASML这样的有风险的客户不屑一顾,但两位小型专业公司G.van der Leegte和Nedinsco愿意合作。
在那时,大多数机器工厂都做大量的粗拉和铣削工作,但ASML的要求更高。G.van der Leegte一直都从事工具制造工作,以极高的精度制造一次性或小型实验性产品。该公司拥有电极丝熔蚀和芯片沉积等专业技术,可制造精细的机械部件,如铸币机和注塑模具。因此G.van der Leegte的加工费更高,但它正是ASML正在寻找的那种公司。
像G.van der Leegte这样的小公司靠飞利浦看不上的生意为生。飞利浦这种大公司自己生产所有部件,但其在阿赫特的机器工厂却因不可靠而臭名昭著。该工厂从未按时交货,因此飞利浦的业务部门经常求助于外部供应商。ASML的要求对G.van der Leegte来说是一个颇大的挑战,但该公司渴望掌握这种精密技术,其所有者杰拉德·范德利格特(Gerard van der Leegte)也准备为此而努力。
在20世纪80年代后期,像这样的小供应商能接到像ASML这种规模的订单就足以维持运营。随着飞利浦的进一步衰落,这些供应商的兴衰开始与ASML密切相关。因此,ASML著名的外包生态系统的种子是在那些年种下的。
* * *
斯密特和他的管理团队希望加快发展速度。根据市场估计,研发部门需要在1986年1月1日前交付PAS 2500的原型;6个月后,该机器必须能够进行批量生产。ASML计划在两年后生产新一代步进光刻机;1988年1月,研发部门能够将0.7微米的细节成像到18毫米见方的光场。
这种研发的投资将是巨大的。为了缩短开发时间,ASML打算雇用更多员工,外包也是发展的必然。比如,Natlab和CFT是专注于设计电动晶圆台和改进对准系统的内部供应商(参考附录9)。
与此同时,斯密特正在与NMB银行和经济事务部谈判,以确保融资、信贷以及商业计划在掌控之中。
地标

ASML希望将其办公室迁至维尔德霍芬——在A2高速公路上可以看到的地方。邻近的城市埃因霍温和桑镇试图阻止ASML搬迁。
1984年夏天,飞利浦工业园区内匆忙建造起了简易房,来容纳ASML的管理团队及其财务、营销和人力资源部门。在那里,贾特·斯密特和约普·范凯塞尔对新的公司地点进行了规划。斯密特的设想是一座散发着高科技气息的雄伟建筑,这样在埃因霍温地区的每个人都会注意到ASML的存在。他想要一个地标建筑,一在视觉上有冲击力、夺人眼球的大楼。在潮湿的荷兰,斯密特想要建造一个像硅谷一样的总部。

在ASML迁至维尔德霍芬之前,其管理团队、办公室员工和人力资源部门只能待在TQ大楼附近的几间狭小的简易房中,该公司就在那里开发光刻机。
他们很着急,由于1985年8月要开始量产,之前没有具体考虑过大楼的事,而且这栋大楼需要具有不同化学级别的超净实验室和装配区域,以及用于机器测试和集成的密闭空间;同时,其要求必须隔绝振动,所以该建筑需要一个特殊的地基。
ASML的首席执行官还有一些个人愿望。他的家人后来搬到了大约30英里外的一个小镇上,他告诉范凯塞尔,他希望能够从火车站骑自行车去上班。ASML的生产主管提议了维尔德霍芬市,斯密特则喜欢贝斯特市飞利浦医疗公司附近的空地。
过了一阵子,建筑师罗伯特·范阿肯(Robert van Aken)为他设计了一座引人注目的建筑。范凯塞尔将图纸发送到维尔德霍温和贝斯特的市政厅,询问这两个地方是否欢迎ASML引人注目的新工厂入驻。哦,顺便说一下,在4年内工厂将雇用300多人,其中2/3拥有大学学位。在一个饱受失业困扰的国家,这是一个非常有吸引力的计划。贝斯特的市长当晚就给范凯塞尔打了电话,并邀请斯密特来他家吃晚饭。
3英里外,维尔德霍芬的市长和市议会也讨论了这件事。ASML把目光投向了高速公路旁的一片土地,名为赫特阿克凯因德。ASML的诉求与一年前该市向省议会提出的要求相吻合。维尔德霍芬希望将赫特阿克凯因德从乡村划为城市。该市有娱乐设施,但重新分区后也将允许无污染工业使用。

位于维尔德霍芬的赫特阿克凯因德,之后在这里建造了ASML的第一座工厂。这张珍贵的历史照片是由赫尔曼·范希克的妻子安妮-玛丽·范希克-沃尔贝达(Anne-Marie van Heek-Volbeda)拍摄的,她在20世纪70年代参与制造了飞利浦的SiRe1。
维尔德霍芬的领导人反应迅速。议员约翰·史蒂文斯(Johan Stevens)与斯密特会面,并立即致电邀请当地媒体参加第二天他在市政厅召开的发布会。在会上他宣布了令人兴奋的消息:他正在与ASML谈判,ASML将在3年内在维尔德霍芬创造300个就业机会;虽然还有一些问题要解决,但问题不大。
1985年8月22日,该地区主要报纸的头版头条标题是“维尔德霍芬可能赢得ASM和飞利浦的合资工厂的投标”,并以“1988年新增300个就业岗位”为副标题。在就业率创新低之际,该报终于可以报道一些好消息:“该建筑群将包括35,000平方英尺的工厂和25,000平方英尺的办公空间。”
议员史蒂文斯将这事处理得很好。他利用报纸采访,将维尔德霍芬未来的居民描绘成全球参与者,并称ASML将驾驭芯片行业爆炸式增长的浪潮。该报援引史蒂文斯的话说:1988年,美国和日本的芯片制造商将花费10亿美元购买步进光刻机,其中大多数将产自ASML。
* * *
议员巧妙地概述了维尔德霍芬的优势。这片土地非常符合ASML提出的要求:赫特阿克凯因德靠近高速公路出口,这对公司的国际业务很重要;这个位置非常显眼,将很好地展示公司。这篇文章详细地对比了史蒂文斯的小镇与同规模的相邻城镇。记者指出:“众所周知,维尔德霍芬的工业用地比埃因霍温要便宜得多。”
史蒂文斯在非正式场合也很高明。他带斯密特前往省会登博什,在那里ASML的首席执行官可以向荷兰前首相、现任女王专员的德里斯·范阿格特(Dries van Agt)讲述他的激情故事。不久之后,该省批准了该项目。“ASML可能搬到维尔德霍芬的赫特阿克凯因德,”地区报纸报道,“有着英俊的艺术家形象的建筑师罗伯特·范阿肯被委托建造这座建筑。”“ASML不该在普通的工业园区,”该文章写道,“但维尔德霍芬的赫特阿克凯因德的南部区域显然满足了这家公司的所有需求。”
* * *
因此,ASML选择了维尔德霍芬。附近的贝斯特市市长坦然地接受了他的失败,但埃因霍温和桑镇的市领导并不开心,因为这两个城市有许多工业园区空无一人。当他们得知ASML选择了一片休闲用地后,他们带着沮丧的情绪将ASML告到荷兰最高法院。当斯密特听到这两个城市和埃克斯克里吉特工业园试图阻止该省的决定时,他非常愤怒。
ASML的时间很紧,但要等事情解决后,它才能开始施工。建筑必须在11月1日之前破土动工,但案件要到几天后才能开庭审理。“真是混蛋,”斯密特在范凯塞尔面前吼道,“政府应该帮助你、支持你,但他们反对我们。不管他们说什么,我们都要开始建造厂房,如果他们反对,可以打爆我的头!”
在接下来的几天里,斯密特打电话给最高法院的一位大法官。他在ITT的时候就认识这个人,他们和几位著名的政府官员都曾是一个咨询小组的成员。法官回答道:“别说了,不要再说一个字,再说下去我会丢饭碗的。”但斯密特只是想让法官告诉他,哪个专业的律师能搞定这种事情。法官给了他一位位于阿姆斯特丹的教授的电话号码,“他是空间规划领域的权威专家。”大法官说。
愤愤不平的斯密特不会让建筑许可证闲置,即使最高法院可能宣布它无效。10月12日,第一辆推土机在赫特阿克凯因德隆隆驶过,铺设了一条通道。承包商IBC建议他们等待最高法院做出判决再为地基开桩,但愤怒的斯密特听不进去:“我希望你现在打这些桩!无须等待审判!”
地区文件给了斯密特一个机会来解释他不选择普通工业园区的原因。“与我们的无尘实验室相比,医院的手术室就是一个垃圾带。”他说。选择维尔德霍芬是合乎逻辑的,因为它靠近Natlab和飞利浦的机器工厂。尽管整个事件使斯密特火冒三丈,但在公开场合,这位ASML的首席执行官还是会克制言辞。“很明显,我们在谈判中没有威胁任何人,”他在文件中说,他指的是在与这4个候选城市的谈判中,“我告诉他们机不可失。我们想在11月破土动工,稍有延期都会带来灾难性的影响。我们本可以选择在美国或日本建造这个工厂,毕竟我们的主要客户都在那里。”
公众舆论普遍支持ASML。在一篇题为“城镇间对ASML的争夺毫无风度”的文章中,地区工会对当地政党大发牢骚:政治博弈对他们来说比选民的就业更重要吗?地区职业介绍所也谴责当地政党的行为。
在最高法院审理此案之前,报纸甚至用了整版来总结目前的情况。版面标题赫然写着“步进光刻机将是世界潮流”,标题下面是一张大照片,照片中有赫特阿克凯因德,还有一个打桩机驾驶员在工作。“没有人期望ASML在维尔德霍芬的新总部停止建设。”副标题写道。其中一篇文章中出现了范凯塞尔的照片,他正自豪地解释ASML究竟是做什么的。
斯密特的同事们则开始展露自豪的笑容。这家当时只有100名员工的小公司已经连续数月为公众所热议。成立不到一年,ASML就已经让人注意到了。
斯密特和范凯塞尔以及他们的律师一起准备案件,不放过任何细节。在听证会当天,他们带来了拟建建筑的照片和比例模型。主审法官对此印象深刻。更重要的是,这位法官本来就讨厌法律的条条框框,他期待看到什么是真正的公平。最后ASML获得了建筑许可。
回到Elcoma

乔治·德·克鲁伊夫带着贾特·斯密特去拜访Elcoma。他们遇到了基斯·克里格斯曼和威廉·马里斯,Elcoma承诺购买ASML的机器,只要它能按时交货。
贾特·斯密特雄心勃勃的计划很快在飞利浦的老朋友圈里传开了。飞利浦的荷兰分部主管费迪南德·劳文霍夫(Ferdinand Rauwendoff)听说这件事后,热情地对S&I的技术董事、ASML董事会成员乔治·德·克鲁伊夫说:“我们飞利浦终于又有了一个敢于创造不同的人!”
德·克鲁伊夫也对这家年轻公司的雄心壮志感到兴奋,但他正面临一个重大问题。虽然他是ASML监事会的主席,但他依赖飞利浦的董事会将合资企业的资本翻倍。斯密特要求一笔巨额投资。ASM和飞利浦已经增加了300万美元的支出,但这仍然不够。
德·克鲁伊夫知道Elcoma是关键,如果他能让该工厂的管理层对ASML的光刻机感兴趣,那将给飞利浦的高管们发出一个积极的信号。因此,在斯密特向监事会提出他的商业计划后不久,德·克鲁伊夫建议他们一起拜访负责Elcoma芯片厂的基斯·克里格斯曼。
斯密特并不期望得到多少。几个月前,他和维姆·特罗斯特一起拜访了Elcoma,他们的会面并不愉快,当时咖啡的涩味至今仍在口中挥之不去。但他知道他必须赢得飞利浦的芯片厂的信任,不仅仅是为了资金。ASML如果不供应其大股东,那么也就失去了在其他芯片制造商中的声誉。此外,这个客户只是一路之隔,如果卖给它第一台机器,就能非常方便地进行试运转和操作故障排除。
* * *
5年后将成为ASML首席执行官的威廉·马里斯正和基斯·克里格斯曼共同运营当时飞利浦最雄心勃勃的项目之一——Megachip项目。
这个项目与西门子合作开发,西门子在芯片技术方面落后于日本竞争对手,正奋力追赶。飞利浦和西门子希望开发非常先进的内存芯片生产技术,这种芯片可以存储100万比特的数据,因此被称为Megachip。这个有野心的联盟将进行一次巨大的尝试,预算投入也相当高。虽然飞利浦那时正在削减各方面的成本,但克里格斯曼却有一张几乎空白、可以随便填的支票:他获准投入高达7亿美元。在Natlab,Megachip项目正在全面展开。飞利浦的研究人员可以在那里获得最先进的设备,以使欧洲重新征服全球芯片市场。Natlab甚至为该项目开发了几款光刻机,作为ASML光刻机的备用方案。
时间很紧,这对于项目的设备供应商来说一样。1986年4月1日,飞利浦希望收到用于生产Megachip存储器的设备,它将在3个月后决定购买哪种设备。克里格斯曼告诉德·克鲁伊夫和斯密特:“然后我们将决定哪些设备适用于大规模生产。”
* * *
斯密特公布了他的计划:ASML可以在1986年4月1日按时交付,因为ASML内部设定的期限是1986年1月1日。到现在为止,他已经多次推销自己公司的产品,并做出了积极的承诺。克里格斯曼对此印象深刻。Elcoma的主管坦率地提出他的要求:他想在1986年4月1日收到第一台PAS 2500,不能晚一天。“否则,我就会选择尼康。”他警告说。
如果ASML满足要求,并且这些机器通过了Elcoma的测试,那么克里格斯曼将为Megachip项目购买PAS 2500。斯密特对此感到很吃惊。他知道克里格斯曼没有受到飞利浦文化太多的影响,他是从霍尼韦尔来到这个项目的,但他仍然对克里格斯曼的建设性态度感到惊讶。不过这些要求并不低,ASML只剩下18个月的时间来开发并生产一台机器。
斯密特与克里格斯曼和马里斯的会晤是ASML发展史中的一个里程碑。虽然Elcoma在奈梅亨的芯片厂的经理们建议他们的上司不要与ASML做生意,但这两位Megachip项目的负责人都表达了对斯密特的支持。斯密特大胆提出用老式的油压驱动的步进光刻机,但克里格斯曼和马里斯坚决反对。
克里格斯曼不仅支持斯密特,还给了他一个极高的报价。他邀请这位ASML的首席执行官参加每月一次的会议,这是他和马里斯讨论Megachip项目的进展情况的专门会议,会议参与者还包括来自Natlab的基斯·布尔特西斯、马里诺·卡拉索以及Megachip项目测试工厂的罗尔·克莱默(Roel Kramer)。克里格斯曼说:“这将有助于您了解我们对光刻机的要求。”斯密特激动得说不出话来,他兴奋地欢呼起来。他们居然欢迎他参加Elcoma和Natlab讨论技术方案的会议!ASML的首席执行官不禁想起了他与飞利浦之间的爱恨关系。对于飞利浦内部所有腐朽的举措和所有错失的机会,他曾经忍不住咒骂,但飞利浦现在确实给了他所祈祷的一切。
斯密特现在正受到飞利浦对其分拆公司业务特殊的深度支持,而他之后在ASML工作期间,还会多次获得这样的支持。当合资企业在飞利浦堡垒的厚墙之外遭遇危机时,母公司的经理们通常会提供帮助。ASML早些时候已经获得了Natlab对电动晶圆台的技术支持;现在,Elcoma也发出了一个积极信号,虽然它是有条件的。
* * *
“哇,贾特,这是一次成果显著的谈话!”他们刚跨出Elcoma在埃因霍温的办公室大门,德·克鲁伊夫高兴地拍了拍斯密特的背。“多么有建设性态度的人——克里格斯曼。”他欣慰地补充道。德·克鲁伊夫知道,为ASML筹集额外的资金将不再困难。
对斯密特来说,这也是一大突破。他与Elcoma之间的关系突然和睦了很多。他很清楚,克里格斯曼在为ASML两肋插刀,这足以说服ASML监事会批准他的商业计划。
但股东们将资金上限定在750万美元。他们明确表示,ASML必须在其他地方筹集额外的资金。
ASM、Elcoma和飞利浦从那一刻起都因ASML的项目紧密相连。公司必须成功,所有相关人员在当时还不能理解失败的后果。其中的财务问题在后来将导致斯密特和德尔·普拉多之间产生不可避免的对抗。但今晚,这些后果还只是ASML首席执行官未来的担忧。
维多利亚韦斯特旅馆

从入职培训开始,贾特·斯密特就会给新员工传达一个坚定的信息:
ASML在任何地方的做事风格都要与飞利浦不一样。
1984年9月初,在一个沉闷的星期二早晨,维姆·亨德里克森走进维多利亚韦斯特路边的一家旅馆,它坐落在埃因霍温中央车站对面的街道上。他将和其他20名ASML的新员工一起参加为期一周的入职课程。就像亨德里克森一样,其他大多数人才在ASML工作了几天。他们中的许多人直接来自飞利浦,贾特·斯密特在开场白中巧妙地利用了这一事实。“我花了7年的时间为S&I工作,然后我尖叫着跑掉了,”他说,“公司的条条框框太多了,光刻机项目在那里必定失败。”
但斯密特话锋一转:虽然飞利浦无法交付光刻机,但业界开始对ASML的光刻技术非常期待。“ASML最终将交付这个产品。”他说。
然后,斯密特讲述了另一位股东——ASM的成功故事。ASM对芯片市场了如指掌,这家母公司已取得成功而且增长迅速,并扭亏为盈。斯密特指出,1982年和1983年,这家科技公司的收入从5,200万美元跃升至7,700万美元。“1984年,ASM预计将获得高达1.06亿美元的收入。这意味着它的增长率比市场平均增长率快。”斯密特告诉他的新员工们。ASM成立16年间业绩良好,除了在荷兰设立了两个办事处外,该公司还在美国凤凰城、中国香港和日本东京设有办事处。
ASML的首席执行官告诉他的听众,公司将走向黄金时代。他说:“我们还有很长的路要走,因为PAS光刻机的竞争力还不够强。尽管如此,ASML还是可以抓住芯片牛市。PAS光刻机就像一辆梅赛德斯奔驰车,拥有今天的技术和往日的构造。它内部结构结实,吞吐量和精度都很好,只是周边部分还不太好。幸运的是,ASML拥有改进它所需的一切条件。我们像初创公司一样小而灵活,但拥有非常成熟且关键的技术。”
斯密特向他的听众讲述了光刻机市场的特点。他告诉他们,这些都是非常精密的机器。不会出现新的竞争者,因为门槛太高了。斯密特说:“我们在美国的竞争对手Perkin-Elmer和日本的竞争对手尼康尚未确立自己的领先地位。我们的目标是在1988年占领1/4的市场。到那时,我们9个竞争对手中的5个将被淘汰。”
然后,他告诉了听众们公司的目标。“我们在1988年将从销售20台光刻机增加到销售300台,收入为1.56亿美元。我们的目标远大,但是可以实现。为了追求速度,ASML将尽可能多和外界合作。公司只会在内部开发最关键的专业技术,而这正是新工程师们的专长,他们将打造机器的核心部件。我们每位员工将获得50万美元的收入。”斯密特告诉他们。
ASML的主要市场在美国,斯密特希望尽快在美国开设分部。维尔德霍芬的园区也必须采用美国管理模式。斯密特说:“欧洲在技术上处于领先地位,但从商业上讲,非常糟糕。这意味着我们需要尽可能经常访问美国。只会思考和纯搞研究的人对我们来说没有任何用处;我们想要付出实际行动的人。我们希望公司有像硅谷的公司一样的心态。”
接下来,几位老手开始解释步进光刻机的各种技术,其中一位是马丁·范登布林克。他在ASML仅工作了6个月,但他讲起对准系统时如数家珍,就像他一直是专门研究这个的。
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在维多利亚韦斯特培训了几天后,维姆·亨德里克森更坚信自己的选择。他签约为飞利浦的一家子公司工作,但他年轻的雇主ASML将完全放弃母公司的温和做法。他总结道,对公司要么全心信任要么放弃。亨德里克森感觉自己好像坐上了过山车,这让他头晕目眩。每位员工将获得50万美元的收入,ASML也将在全球市场树立领导地位——这是公司的最低目标。
这个远大目标使亨德里克森兴趣满满。后来,他将保存他画了几十年的设计图,它们成了他的指南针。亨德里克森只有一个清晰的目标,那就是他前进的方向。
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1984年秋季,招聘活动带来了大量的新员工。他们当中有许多是从腐朽的飞利浦跳槽过来的。他们发现,在这家新公司,反对他们的前雇主已成为一门艺术。
那年秋天,年轻的工程师马丁·范登布林克和弗里茨·范霍特见证了一个惊人的转变。新鲜血液的涌入在短短几个月内就使公司的氛围焕然一新。当许多前飞利浦员工开始对未来感到兴奋的,老工厂里的抱怨声消失了。一些人使用豁免规则返回了母公司飞利浦,斯密特并没有阻止他们。午餐室里的嘟囔抱怨声也消失了,工程师们一边吃三明治,一边说说笑笑。
像亨德里克森这样的新员工,在几个月前就感觉不到TQ大楼里弥漫的悲观情绪了。他们的一些同事生来就是抱怨者,但是他和其他新人却很开心。他时不时地看到有人在走廊的瓷砖上无聊地用脚划来划去:这些人是来自TQ大楼的其他部门的飞利浦员工。亨德里克森和他的同事们不知道这些麻木的人是谁。就他而言,用餐时他总是抓起一个三明治快速地吃完,然后就回到工作岗位上。没有人会花时间在休息室里闲逛。
蚁冢

ASML仍然乱作一团。新任命的服务工程师乔斯·维克(JosVreeker)发现,根本没有客户买机器,现在没有多少售后服务工作。
1984年10月的一个星期五下午,马丁·登布林克走进TQ大楼的一间狭小的临时会议室。刚从学校毕业一年的范登布林克站在活动挂图旁边,面对十几个聚集的工程师说道:“先生们,我们目前的光刻机很差。我们要重新进行设计,你们觉得该如何设计呢?”
乔斯·维克听到这句话时差点从椅子上摔了下来。那个星期五下午,他终于意识到他的新雇主的实际情况。4年来,他在欧洲为Perkin-Elmer的Micralign光刻机提供售后服务,那是一款非常成功的光刻机,世界上每个实验室和工厂都至少有一台。现在,他发现他就职于一家目前没有任何新机器可销售的公司。
维克习惯于在运作规范、纪律严明、等级分明的公司提供最优质的售后服务,但在ASML几乎没有产品可以服务。当维克看到大会上的PAS 2000时,他大吃一惊。他想,这真是小本生意啊,他们真能让这台机器运转起来吗。
在接下来的几个月里,当维克前往飞利浦的站点为PAS 2000进行售后维护时,发现光刻机操作员对ASML的技术不屑一顾。
在入门培训中,他了解到这台机器的精度有多么高:它有卓越的对准系统和能实现套刻的H型晶圆台。但是,当他在一家芯片厂提到ASML的对准系统能达到0.125微米的对准精度时,人们只是耸耸肩:这很好,但他们不需要这么精准。“这种对准方法是荒谬的。”他不断听到这样的说法。当他们不需要成像小于1微米的图案时,为什么会需要一台对准精度达到0.125微米的机器?在20世纪80年代中期,“光学光刻技术将很快达到极限”的想法仍然很普遍。
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维克不是唯一一个感到惊讶的人。“这里简直是一个灾区。”这是菲亚·洛森(Fia Loozen)在11月底走进办公室时的想法。在接下来的几天里,这个行政助理发现她的办公室像中央车站一样混乱。她办公桌旁的一个大柜子里摆满了办公用品、苏打水、啤酒、饼干和糖果。柜子旁边是一台冰箱,上面是咖啡机。工程师们每隔一分钟就去吃零食、煮咖啡。新上岗的行政助理应该在这么混乱的环境中工作吗?洛森并不开心。
3个月前,这位阿姆斯特丹本地人在Intermediair上看到广告后,向ASML递交了求职申请。她曾在意大利的一家旅行社工作,还在吉列和汉高拥有多年的工作经验。在过去的3年里,她一直在埃因霍温以北20英里外的一家职业介绍所工作。那个工作不是她喜欢的,她决定要找一份有挑战性的工作。
贾特·斯密特亲自邀请她到他在埃因霍温的公寓接受面试,这是他那段时间的习惯。位于S&I建筑群外的临时简易房空间狭小,作为公司的面试场所不体面。几个月前,他还邀请他的研发主管尼科·赫尔曼斯和首席财务官杰拉德·韦尔登肖特到他家。斯密特认为这有一个好处:飞利浦压迫性的气氛在他的私人地盘是不存在的,在这感觉更像是一家初创公司,而不会闻到在工厂里的那种机油的味道。
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洛森听了斯密特热情洋溢的演讲后,她开始心动。这位首席执行官一边给她倒茶,一边告诉她ASML将征服世界。她想,这就是我想投入全部精力的公司。
但是她入职后,却发现新环境真是令人难以忍受。全新的打字机几乎是在最初几个月里唯一给她留下好印象的东西。但是其他一切都是一团糟,包括临时的办公室;但更糟糕的是同事们的沟通方式。简易房和工厂车间简直是一片混乱。当她环顾四周时,看到的是蚁冢般的景象:每个人都很忙。但是他们都在做什么?她不知道。她的人力资源部门的同事正忙着雇用新员工,地上堆满了纸和文件夹。显然,大家都在忙着做重要的事情,但洛森根本看不出任何章法。不过这个地方还是很有趣的,气氛轻松,大家经常开玩笑。
这里看起来更像一个灾区。不,这就是一个灾区,不过这不是洛森的事。她要做的第一件事是把咖啡机搬出办公室,将所有的公共小吃和用品都移到大厅的尽头,放在洗手间旁边。

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